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大气机械手是用于半导体造作中晶圆传输的关键设备，jinnianhui金年会大气机械手拥有高干净等级、高速传片及拥有碰撞；ぶ澳，占有齐全自主知识产权，能够投合个性化设计结尾执行器及定造接口。手臂选取先进的结构加强了手臂的刚性，并有效抑造振动，轻量化设计满足高速要求，是半导体行业的优势之选。

产品优势

质量靠得住

高品质零部件，精密装配，严格检验，高寿命

个性化设计

用户可定造手指及接口

切合SEMI尺度

Blade系列大气机械手已通过SEMI认证

全自研解决规划

主题部件自主研发

产品参数

晶圆尺寸

3 " 4 " 6 " 8 " 12 "

机械手沉复精度

≤ ±0.1mm

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